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一种微形变压力传感器

时间:2022-10-20 19:17:19
一种微形变压力传感器(全文共2065字)

一种微形变压力传感器

本实用新型专利主要致力于制备一种超低形变量的压力传感器。具体包含两个主体部分,1、选择一种微纳米级别厚度的导电薄膜;2、选择一种硬度较大的支撑薄膜的衬底。该结构如下:①选择一个平面的蓝宝石衬底;②在平面衬底上镀上一层柔韧性较好的导电薄膜;③选择一个微观形貌为台状的图形化蓝宝石衬底;④将图形化蓝宝石衬底与镀有导电薄膜的平面衬底封装在一起;⑤引出两个电极;⑥将制备的样品连接在一个闭合电路中充当一个电阻;⑦将一个台式数字万用表串连在该闭合电路中。该传感器的原理在于,将物品放在传感器上,通过压缩导电薄膜引发电阻变化,根据台式数字万用表的数据记录来判定压力大小和压力状态。

1. 一种微形变压力传感器,具体结构如下:

(a)一个平面的衬底;

(b)在平面衬底上镀上一层柔韧性较好的导电薄膜;

(c)选择一个微观形貌为台状的图形化衬底;

(d)将图形化衬底与镀有导电薄膜的平面衬底封装在一起;

(e)引出两个电极;

(f)将制备的样品连接在一个闭合电路中充当一个电阻;

(g)将一个台式数字万用表串连在该闭合电路中。

2. 根据权力要求1(a)所述,平面衬底的材料为金:刚石、蓝宝石、陶瓷等非导体硬度较大的材料。

3. 根据权力要求1(b)所述,在该平面衬底的导电薄膜所使用的材料为:金属薄膜、金属纳米线、金属纳米网格、石墨烯、碳纳米管、ITO、FTO、柔性高分子导电材料等。

……此处隐藏829个字……状态。

附图说明:

图1是微形变压力传感器的工作原理图;

图2是微形变压力传感器的一种二维结构;

图3是微形变压力传感器的一种三维结构。

具体实施例一:

下面将结合图片具体对新型微形变压力传感器进行刨析举证,用实例进行进一步说明。平面蓝宝石衬底为7、对面平面蓝宝石衬底为1、银纳米线薄膜为8、电极为3、导线为4、电源为5、台式数字万用表为6。具体结构如下:

1、一个平面蓝宝石衬底;

2、在平面衬底上镀上一层柔韧性较好的银纳米线薄膜,薄膜厚度为100nm;

3、选择另一个平面蓝宝石衬底;

4、将图形化蓝宝石衬底与镀有导电薄膜的平面蓝宝石衬底封装在一起;

5、引出两个电极;

6、将制备的样品连接在一个闭合电路中充当一个电阻;

7将一个台式数字万用表串连在该闭合电路中。

具体结构如图2所示。

具体实施例二:

下面将就另一种结构进行阐述,平面蓝宝石衬底为2、台状图形化蓝宝石衬底为1、银纳米线薄膜为8、电极为3、导线为4、电源为5、台式数字万用表为6。具体结构如图3所示。

1、一个平面蓝宝石衬底;

2、在平面衬底上镀上一层柔韧性较好的银纳米线薄膜,薄膜厚度为100纳米;

3、选择一个圆台状蓝宝石衬底,周期3微米,高度1.8微米;

4、将图形化蓝宝石衬底与镀有导电薄膜的平面蓝宝石衬底封装在一起;

5、引出两个电极;

6、将制备的样品连接在一个闭合电路中充当一个电阻;

7、将一个台式数字万用表串连在该闭合电路中。

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